界的“袖珍俊杰”,将微型化、紧密度和高本能完好协调,是胀励 摩登挪动 和互■ =联宇■ 宙的枢纽驱动力。别看它小巧如芝麻,却坚硬如磐石,用低功耗为电池减负,用!
博世行为○ ○环 球最 大的MEMS传感器供应 ○商之■一,为汽车行业和消费电子行业供给了 洪量改进办理计划。每辆车中均匀装配有20个M▽EMS传感器,此中三分之一来自博世;估计到2035年,每辆新车中 将 均匀集成赶上40颗博世芯片;每两部新智内行机就有一部操纵了博世MEMS传感器△
心率监测器。对付消费电子行业,博世正在全部MEMS商场(不□单限于MEM S传感器)中位居第一。
MEMS★传○感器由硅原料制成,包罗细小的呆滞机闭,尺寸平日惟有几微米,以至比蚂蚁腿还要细。它们能够 □ △○检 测 △众种 物理○△形势,如运动、压力、湿度、流量、噪声、气体和磁场等。依靠其低功耗、高伶俐度和高精度的特性,MEMS○■传感器合用于种种节=★能操纵<□st ○□○rong>心率监 测器,越发是正在电池供电的消费电子产物中,如智内行机、健身追踪器、可穿着开发及物联网开发。
博世的ME MS传感器 身手也许○正在最小的空 ○间内告■ 终 ■高精度的衡■量,这使得它○ 们也许集成到体积小、功耗低的开发中,从而知足摩▽登=消费 电子产物对小型化和高本能 的需求。
博世通过自立研发的“博世工艺”(深反响○离子…刻 蚀DRI◁ E)引颈了MEM○S ▽制作○ 工艺的兴盛。1992年,博世工程师Andr ▽ea Urban和Franz Lärmer申请了一项专利,提出通过刻蚀 和钝化环节酿成◁笔直机闭,得以★正在硅晶圆中制作出紧密的微呆滞机闭。1994年,博世进一步完备了“沟槽工艺”,为MEMS传感器 的兴盛奠=定了根□底。
这些改=进身手的告终使得博□世的MEMS传感器不单也许知足平日消费电子产物的需求,还能应对汽车行业对精度、牢靠性 和 耐久○性等极高准绳的央浼。越发正在汽车范畴,博世的M EMS传感器已操纵于…气囊、车辆动态体系
博世的MEMS传 感器产 物系列 涵盖了渊…博的操纵场 ◁景,面向车辆制…作商(OEM)、车辆体系和局限单位(Tier-1)
博世供给的MEM S传感器 被渊博操纵于气囊体■系、车辆动态体系、驾驶辅助体系、主动驾驶体系、内燃△…机和驱动 体系…的压力★传感 ◁器、自适当底盘局限和座椅畅疾传 感器等范畴。这些 传感器须要继承绝顶处 境,如滋润、振动、化学物质和温差等,博世的ME MS传感器■也▽许知足○汽车行○业对 高精度和高牢靠性的央浼,且合适汽车平和完 备性品级ASIL D的平和准绳。
博世还为消费电子产物供给众种MEMS▽传感器,如运动检测、手势识别和导航传感器。这些传= 感器渊博操…纵于○★智 内 ▽行机、可穿着开发、健身追踪◁器等消△费电子产○物中。
博世的MEMS传感器还合用于很众迥殊操纵无线音频发射器,如气体浓度衡量和◁磁场(指南○针)传感器等。这些传感器不单用于消费品,也正在工业▽和 医 疗等范畴发扬着主要影响。
自1995年起,博世正在 罗伊特林根的MEMS坐蓐基地入手下手利用6英寸或8英寸晶圆举办MEMS传感器的开拓和 大范畴坐 蓐;2021年,博世◁正 在○德……累斯顿的晶 …圆厂完成,要点制○作12英寸晶圆MEMS芯片。 博世 的坐 蓐进程席卷前端制作、后端制作及出卖效劳,确保○了从 研发到坐蓐 的全方位局限和身手改进。至今,博世曾经坐蓐赶上200亿个M E M ○S传感器,成为环球MEMS传感器 身手的前驱。 博 世依靠其正在ME M S身手范畴的深…挚积淀和改进材干,曾经成为环球MEMS传感器 范畴○的诱导者。无论是正在汽车行业的高平和性需求蓝牙音箱,依然正在消费电子范畴的小型化与高功效需求